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瑞士VAT真空閥-真空多閥裝置 組合閥和閥組在一個(gè)單元中提供了不同閥門功能的組合。其優(yōu)點(diǎn)是：減少了密封圈的數(shù)量，從而減少了潛在的泄漏點(diǎn)，非常緊湊，節(jié)省空間的設(shè)計(jì)，與單個(gè)閥門的裝配相比，更快、更容易裝配。

瑞士VAT真空閥25.7 - 高壓快速關(guān)閉閥 25.7 高真空快速切斷閥受流量控制。沒(méi)有任何子系統(tǒng)（傳感器和驅(qū)動(dòng)器）的直接操作設(shè)計(jì)可提供高速隔離功能，并且復(fù)雜性和故障風(fēng)險(xiǎn)均較低。在 1 bar 的壓差下，從初 始回流脈沖到隔離所需的時(shí)間不到 10 毫秒，因此25.7 高真空快速切斷閥在同類產(chǎn)品中處于優(yōu)勢(shì)地位。

瑞士VAT真空閥61.7 - 高真空蝶形控制閥 基于 VAT 的最新控制器技術(shù)，61.7 HV 蝶形控制閥可在極大的壓力范圍內(nèi)提供出色的壓力控制性能。從幾乎零電導(dǎo)率開始，閥門可在 0.5 秒內(nèi)達(dá)到電導(dǎo)率?？焖俜磻?yīng)、精確的控制器可在整個(gè)工作范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)非常精細(xì)的壓力控制。壓力控制功能基于經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的 VAT 設(shè)計(jì)原理，該原理使用閥板作為節(jié)流元件來(lái)改變閥門開口的傳導(dǎo)性。

瑞士VAT61.6 - 高真空蝶形控制和隔離閥 61.6 HV控制蝶閥提供出色的壓力控制和隔離性能。在所有條件下都有出色的壓力控制和隔離作用

瑞士VAT真空蝶閥61.3 - 蝶形控制閥 61.3 高真空蝶形控制閥可提供出色的壓力控制性能。憑借其快速且精準(zhǔn)的作用動(dòng)作控制器（0.1 秒），61.3 蝶形控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細(xì)控制的理想解決方案。閥板可充當(dāng)節(jié)流元件，改變閥門開度的流導(dǎo)特性。61.3 蝶形控制閥的集成壓力控制器可計(jì)算所需的閥板位置，以盡快實(shí)現(xiàn)設(shè)定壓力。

瑞士VAT真空蝶閥21.0 - 蝶閥 當(dāng)占用空間需要閘閥替21.0 系列已經(jīng)安裝在數(shù)千個(gè)各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中21.0 系列具有堅(jiān)固的設(shè)計(jì)，減少了維護(hù)量，使維護(hù)更方便，在各個(gè)方面都令人信服。代方案時(shí)適用